Vakuuma pārklāšanas mašīnas darbības princips

Vakuuma pārklāšanas mašīna ir ierīce, kas uz substrāta virsmas uzklāj plānas metāla plēves. Tās darbības pamatprincips ir sadalīts trīs posmos: tīrīšana, iztvaicēšana un nogulsnēšana.
1. Tīrīšana
Pirms iztvaikošanas nogulsnēšanas iztvaikošanas kamera ir jāiztīra. Tā kā iztvaicēšanas kameras virsmai var būt pievienoti oksīdi, tauki, putekļi un citas vielas, tās ietekmēs plēves kvalitāti. Tīrīšanai parasti izmanto ķīmiskas vai fizikālas metodes.
2. iztvaikošana
Vēlamais materiāls tiek uzkarsēts virs tā kušanas temperatūras tā, lai tas veidotu gāzveida molekulas. Pēc tam gāzveida molekulas vakuuma kamerā tiek izvadītas iztvaikošanas kamerā. Šo procesu sauc par iztvaikošanu. Temperatūra, spiediens un iztvaikošanas ātrums ietekmē plēves sastāvu, struktūru un īpašības.
3. Nogulsnēšanās
Materiāla gāzveida molekulas iztvaicēšanas kamerā caur vakuuma cauruli iekļūst reakcijas kamerā, reaģē ar aktīvo materiālu un pēc tam uzklāj produktu uz substrāta virsmas. Šo procesu sauc par sedimentāciju. Temperatūra, spiediens un nogulsnēšanās ātrums ietekmē arī plēves kvalitāti un veiktspēju.
2. Pieteikums
Vakuuma pārklāšanas mašīnas tiek plaši izmantotas materiālu zinātnē, optikā, elektronikā un citās jomās.
1. Materiālzinātne
Vakuuma pārklāšanas mašīnas var sagatavot dažādu metālu, sakausējumu, oksīdu, silikātu un citu materiālu plānas plēves, un tās plaši izmanto pārklājumos, optiskajās plēvēs, optiskajā atmiņā, displejos, tranzistoros un citās jomās.
2. Optika
Vakuuma pārklāšanas mašīna var sagatavot metāla un sakausējumu plēves ar augstu atstarošanas spēju un optiskās plēves ar īpašām funkcijām. Šīs plēves var izmantot saules paneļos, augstas veiktspējas elektronu mikroskopos, aerogēlos, UV/IR sensoros, optiskajos filtros un citās jomās.
3. Elektronika
Vakuuma pārklāšanas mašīnas var sagatavot nanomēroga elektroniskus materiālus un mikroelektroniskas ierīces. Šīs plēves var izmantot nanotranzistoros, magnētiskajās atmiņās, sensoros un citos laukos.
Īsāk sakot, vakuuma pārklāšanas iekārta var ne tikai sagatavot dažādus plānās kārtiņas materiālus, bet arī sagatavot plānās kārtiņas ar īpašām funkcijām pēc vajadzības. Nākotnē vakuuma pārklājuma tehnoloģija tiks plašāk izmantota un popularizēta.